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日本日立全自動(dòng)型原子力顯微鏡5500M
點(diǎn)擊次數(shù):2348 更新時(shí)間:2020-04-29

日本日立全自動(dòng)型原子力顯微鏡5500M概述

AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,配備4英寸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)的全自動(dòng)型原子力顯微鏡。設(shè)備在懸臂更換,激光對中,測試參數(shù)設(shè)置等環(huán)節(jié)上提供全自動(dòng)操作平臺(tái)。新開發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應(yīng)器使測量精度大幅提高。并且,通過SEM-AFM共享坐標(biāo)樣品臺(tái)可輕松實(shí)現(xiàn)同一視野的相互觀察?分析。

日本日立全自動(dòng)型原子力顯微鏡5500M特點(diǎn)
1. 自動(dòng)化功能

  • 高度集成自動(dòng)化功能追求高效率檢測
  • 降低檢測中的人為操作誤差

4英寸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)
4英寸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)

自動(dòng)更換懸臂功能
自動(dòng)更換懸臂功能

2. 可靠性
排除機(jī)械原因造成的誤差

大范圍水平掃描

采用管型掃描器的原子力顯微鏡,針對掃描器圓弧運(yùn)動(dòng)所產(chǎn)生的曲面,通常通過軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)。但是,用軟件校正方式不能*消除掃描器圓弧運(yùn)動(dòng)的影響,圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。
AFM5500M搭載了新研發(fā)的水平掃描器,可實(shí)現(xiàn)不受圓弧運(yùn)動(dòng)影響的準(zhǔn)確測試。

Sample :Amorphous silicon thin film on a silicon substrate

Sample :Amorphous silicon thin film on a silicon substrate

高精角度測量

普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器,在豎直伸縮的時(shí)候,會(huì)發(fā)生彎曲(crosstalk)。這是圖像在水平方向產(chǎn)生形貌誤差的直接原因。
AFM5500M中搭載的全新掃描器,在豎直方向上不會(huì)發(fā)生彎曲(crosstalk) ,可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。

Textured-structure solar battery

Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)

  • * 使用AFM5100N(開環(huán)控制)時(shí)

3. 融合性
親密融合其他檢測分析方式

通過SEM-AFM的共享坐標(biāo)樣品臺(tái),可實(shí)現(xiàn)在同一視野快速的觀察?分析樣品的表面形貌,結(jié)構(gòu),成分,物理特性等。

Correlative AFM and SEM Imaging

SEM-AFM在同一視野觀察實(shí)例(樣品:石墨烯/SiO2

The ovrlay images createed

The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.

上圖是AFM5500M拍攝的形狀像(AFM像)和電位像(KFM像)分別和SEM圖像疊加的應(yīng)用數(shù)據(jù)。

  • 通過分析AFM圖像可以判斷,SEM對比度表征石墨烯層的厚薄。
  • 石墨烯層數(shù)不同導(dǎo)致表面電位(功函數(shù))的反差。
  • SEM圖像對比度不同,可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。
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